IDENTIFYING DATA 2010_11
Subject (*) PROCESSOS DE LA SALA BLANCA Code 205151206
Study programme
Nanociència i Nanotecnologia (2006)
 Cycle 2n
Descriptors Credits Type Year Period Exam timetables and dates
2.5 Optativa Únic anual
Modality and teaching language See working groups
Department Química Analítica i Química Orgànica
Coordinator
ANDRADE ., FRANCISCO JAVIER
 E-mail franciscojavier.andrade@urv.cat
Lecturers
ANDRADE ., FRANCISCO JAVIER
Web
General description and relevant information To design and fabricate metallic nanostructures in a clean room. Subsequently, they will be electrically and microscopically characterised.

Competències
Type A Code Competences Specific
  Recerca
  AR9 Reconèixer com propietats físiques concretes poden derivar-se de l’estructura dels materials moleculars i de les interaccions intermoleculars que s’estableixen en la seva estructura.
  AR10 Comprendre i gestionar el concepte de Sala Blanca i els processos associats.
  AR11 Coneixement pràctic dels processos de fotolitografia, gravat, deposició, creixement a altes temperatures i nanolitografia.
  AR12 Inspecció i caracterització de processos.
Type B Code Competences Transversal
  Recerca
  BR2 Treballar de manera autònoma amb iniciativa.
  BR4 Capacitat d’organització i planificació.
  BR7 Teamwork.
Type C Code Competences Nuclear
  Comú
  Recerca
  CR4 Tenir adquirides les competències bàsiques en TIC.
  CR5 Ability to communicate with experts of other professional fields.

Objectius d'aprenentatge
Objectives Competences
Reconèixer com propietats físiques concretes poden derivar-se de l'estructura dels materials moleculars i de les interaccions intermoleculars que s'estableixen en la seva estructura. AR9
 BR2
BR4
BR7
 CR4
CR5
Comprendre i gestionar el concepte de Sala Blanca i els processos associats. AR10
 BR2
BR4
BR7
 CR4
CR5
Adquirir coneixement pràctic dels processos de fotolitografia, gravat, deposició, creixement a altes temperatures i nanolitografia. AR11
 BR2
BR4
BR7
 CR4
CR5
Inspeccionar i caracteritzar processos. AR12
 BR2
BR4
BR7
 CR4
CR5

Continguts
Topic Sub-topic

Planificació
Methodologies  ::  Tests
  Competences (*) Class hours Hours outside the classroom (**) Total hours
Activitats Introductòries
1 0 1
 
Sessió Magistral
2 4 6
Treballs
9 36 45
 
Atenció personalitzada
8 0 8
 
Proves pràctiques
2 0 2
 
(*) On e-learning, hours of virtual attendance of the teacher.
(**) The information in the planning table is for guidance only and does not take into account the heterogeneity of the students.

Metodologies
Methodologies
  Description
Activitats Introductòries Tres sessions magistrals introductòries per poder treballar els conceptes fonamentals d’aquesta matèria.
Sessió Magistral Exposició dels continguts de l'assignatura per part del professor. Amb preguntes freqüents als alumnes per tal que tinguin una participació activa
Treballs Per tal de poder afavorir els aprenentatges, no només de les competències específiques sinó també de les generals i de les transversals, s’ha planificat una part important del treball en grup. Tant el món laboral com el de la recerca s’articulen al voltant de grups d’activitat en moltes ocasions interdisciplinars i transnacionals.

Atenció personalitzada
 
Atenció personalitzada
Description
Reunions amb els alumnes bé individualment o en petits grups per tal de resoldre dubtes, indicar punts de millora i orientar en el desenvolupament general de l'assignatura.

Avaluació
  Description Weight
Treballs Per tal de poder afavorir els aprenentatges, no només de les competències específiques sinó també de les generals i de les transversals, s’ha planificat la realització d’un treball en grup. Tant el món laboral com el de la recerca s’articulen al voltant de grups d’activitat en moltes ocasions interdisciplinars i transnacionals. Cada grup haurà de lliurar un document del treball realitzat i realitzarà una presentació oral del mateix. La temàtica del treball haurà de ser consensuada amb els professors de l’assignatura. 70
Proves pràctiques Aquesta assignatura és eminentment pràctica. Es farà una prova d'aquest tipus per demostrar els coneixements i habilitats adquirirdes 30
 
Other comments and second exam session

Fonts d'informació

Bàsica
  • M.J. Madou: Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization. 2nd edition, CRC Press, cop. 2002.

 

  • B. Bushan et al.: “Springer Handbook of Nanotechnology”, Springer, 2006, ISBN: 3-540-29855-X.

 

  • J.N. Helbert: Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications. 2nd Edition, William Andrew Publishing/Noyes  2001.

 

  • Z. Cui: “Micro-Nanofabrication: Technology and Applications”, Springer Verlag, 2006, ISBN: 3-540-28922-4.

 

  • M. Ohring: “Materials Science of Thin Films, Academic Press, 2002, ISBN: 0-12-524975-6.

 

  • J.A. Venables: Introduction to Surface and Thin Film Processes, Cambridge University Press, 2001, ISBN: 0-521-78500-6.

 
Complementària

Recomanacions


 
Other comments
És convenient haver cursat l'assignatura de Nanofabricació i Nanoprocessat.
(*)The teaching guide is the document in which the URV publishes the information about all its courses. It is a public document and cannot be modified. Only in exceptional cases can it be revised by the competent agent or duly revised so that it is in line with current legislation.