|
Descripció |
|
Reunions amb els alumnes bé individualment o en petits grups per tal de resoldre dubtes, indicar punts de millora i orientar en el desenvolupament general de l'assignatura.
|
| |
|
Altres comentaris i segona convocatòria |
|
|
| Bàsica |
M.J. Madou, Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturizatio, last edition, CRC Press
B. Bushan et al, Springer Handbook of Nanotechnology, last edition, Springer,
J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications, last edition, William Andrew Publishing/Noyes
Z. Cui, Micro-Nanofabrication: Technology and Applications, last edition, Springer Verlag
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, last edition, Academic Press
J.A. Venables, Introduction to Surface and Thin Film Processes, last edition, Cambridge University Press
|
|
| Complementària |
|
|
(*)La Guia docent és el document on es visualitza la proposta acadèmica de la URV. Aquest document és públic i no es pot modificar, llevat de casos excepcionals revisats per l'òrgan competent/ o degudament revisats d'acord amb la normativa vigent |
|