Tipo A
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Código |
Competencias Específicas | | A1.1 |
A1.1. Destacar en el estudio y conocimiento del ámbito de investigación elegido: evaluar la importancia científico-técnica, el potencial tecnológico y la viabilidad de la nanociencia, de los materiales, de su diseño, su preparación, propiedades, procesos y desarrollos, técnicas y aplicaciones. |
Tipo B
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Código |
Competencias Transversales | | B1.1 |
B1.1. Comunicar y discutir propuestas y conclusiones en foros multilingües, especializados y no especializados, de un modo claro y sin ambigüedades. |
| B3.1 |
B3.1. Trabajar en equipo de forma colaborativa, con responsabilidad compartida en equipos multidisciplinares, multilingües y multiculturales. |
| B4.2 |
B4.2. Aprender de forma autónoma y con iniciativa. |
Tipo C
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Código |
Competencias Nucleares | | C1.1 |
Dominar en un nivel intermedio una lengua extranjera, preferentemente el inglés. |
| C1.2 |
Utilizar de manera avanzada las tecnologías de la información y la comunicación. |
| C1.3 |
Gestionar la información y el conocimiento. |
Resultados de aprendizaje |
Tipo A
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Código |
Resultados de aprendizaje |
| A1.1 |
Formula el conocimiento de los principios básicos empleados en el campo de la nanofabricación y nanoprocesado, de los materiales y de las técnicas principales que se utilizan en esta área.
Selecciona los métodos de nanofabricación más adecuados para resolver problemas específicos de la nanotecnología.
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Tipo B
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Código |
Resultados de aprendizaje |
| B1.1 |
Interviene de forma efectiva y transmite información relevante.
Planifica la comunicación: genera ideas, busca informaciones, selecciona y ordena la información, hace esquemas, determina el tipo de público y los objetivos de la comunicación,...
Prepara y realiza presentaciones estructuradas cumpliendo con los requisitos exigidos.
Redacta documentos con el formato, contenido, estructura, corrección lingüística, registro adecuados e ilustra conceptos utilizando correctamente las convenciones: formatos, títulos, pies, leyendas,...
Usa un lenguaje apropiado a la situación.
Utiliza estrategias para presentar y llevar a cabo sus presentaciones orales (ayudas audiovisuales, mirada, voz, gesto, control de tiempo,...).
| | B3.1 |
Acepta y cumple las normas del grupo.
Colabora activamente en la planificación del trabajo en equipo, en la distribución de las tareas y plazos requeridos.
Facilita la gestión positiva de las diferencias, desacuerdos y conflictos que se producen al equipo.
Lleva a cabo su aportación individual en el tiempo previsto y con los recursos disponibles.
Participa de forma activa y comparte información, conocimiento y experiencias.
Tiene en cuenta los puntos de vista de los demás y retroalimenta de forma constructiva.
| | B4.2 |
Formula preguntas adecuadas para resolver las dudas o cuestiones abiertas, y tiene criterio en la búsqueda de la información.
Selecciona un procedimiento de entre los que le propone el profesor.
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Tipo C
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Código |
Resultados de aprendizaje |
| C1.1 |
Expresa opiniones sobre temas abstractos o culturales de forma limitada.
Explica y justifica brevemente sus opiniones y proyectos.
Comprende instrucciones sobre clases o tareas asignadas por los profesores.
Comprende información y artículos de carácter rutinario.
Extrae el sentido general de los textos que contienen información no rutinaria dentro de un ámbito conocido.
Escribe carta o toma notas sobre asuntos preisibles y contenidos.
| | C1.2 |
Conoce la maquinaria básica de los ordenadores.
Conoce el sistema operativo como gestor del maquinario y el programario como herramienta de trabajo.
Utiliza programario para la comunicación off-line: editores de textos, hojas de cálculo y presentaciones digitales.
Utiliza programario para a comunicación on-line: herramientas interactivas (web, Moodle, blogs...), correo electónico, foros, chat, videoconferencias, herramientas de trabajo colaborativo...
| | C1.3 |
Localiza y accede a la información de manera eficaz y eficiente.
Avalua ciríticamente la información y sus fuentes y la incorpora a la propia base de conocimientos y a su sistema de valores.
Utiliza la informaicón comprendiendo las implicaciones económicas, legales, sociales y éticas del acceso a la información y a su uso.
Reflexiona, revisa y avalua el proceso de gestión de la información.
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tema |
Subtema |
Introducción. |
Introducción y conceptos preliminares |
Capítulo 1. Llitografía ultravioleta y visible. |
Concepto de litografía óptica. Litografía óptica convencional. Resinas. Instrumentación. La microelectrónica como la fuerza impulsora de la miniaturización. Límites de la litografía óptica. Litografía óptica avanzada.
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Capítulo 2. Litografía de haz de electrones. |
Introducción a la litografía de haz de electrones. Óptica con electrones: Sistemas de litografía de haz de electrones (Electron beam lithography, EBL). Las interacciones electrones-materiales sólidos. Exposición: Resinas. Efectos de proximidad. Tecnología del proceso. Aplicaciones. |
Capítulo 3. Tecnología de haz de iones focalizado. |
Interacción ion-sólido. Pulverización y redepósito. Acanalamiento. Electrones secundarios. Haces de iones focalizados (FIB). Ataque iónico y ataque iónico asistido por gas. Depósito por gas asistido por iones. Sistemas FIB de un solo haz y de doble haz. Litografía por haz de iones. Nanomanipulación. Aplicaciones.
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Capítulo 4. Técnicas litográficas no convencionales I: técnicas de AFM. |
Litografías basadas en microscopías de campo cercano: Introducción a la microscopía de sonda de barrido. Resumen de los métodos litográficos de sonda de barrido. Manipulación atómica (STM). La manipulación de los objetos y las moléculas. Indentación / depósito local. Nanolitografía de oxidación local. Dispensado local de líquidos y moléculas (incluyendo Dip Pen nanolithography). Nanofabricación en paralelo.
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Capítulo 5. Técnicas litográficas no convencionales II: impresión, estampado y técnicas de AFM. |
Litografías de estampado. Termoplásticos: temperatura de transición vítrea. Estampado en caliente y nanoimpresión. Curado de termoplásticos mediante luz ultravioleta. Replicado. Litografías suaves
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Capítulo 6. Técnicas de depósito y crecimiento |
Proceso de crecimiento. Evaporación. Epitaxia de haces moleculares. Pulverización catódica. Depósito asistido por iones. Ablación mediante láser. Depósito de fase química Depósito asistido mediante plasma. Método de depósito de Langmuir-Blodgett.
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Capítulo 7. Procesado de capas. |
Grabado mediante química seca y húmeda. Procesos de lift-off. Grabado reactivo y asistido mediante plasma. Grabado iónico.
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Capítulo 8. Procesos de fabricación global. |
Fabricación de estructuras complejas utilizando las técnicas descritas en los temas anteriores. Propuesta de alternativas y complementariedad de técnicas. |
Metodologías :: Pruebas |
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Competencias |
(*) Horas en clase
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Horas fuera de clase
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(**) Horas totales |
Actividades introductorias |
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1 |
0 |
1 |
Sesión magistral |
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25 |
50 |
75 |
Trabajos |
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6 |
12 |
18 |
Presentaciones/exposiciones |
|
4 |
4 |
8 |
Atención personalizada |
|
3 |
4.5 |
7.5 |
|
Pruebas de desarrollo |
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1 |
2 |
3 |
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(*) En el caso de docencia no presencial, serán las horas de trabajo con soporte virtual del profesor. (**) Los datos que aparecen en la tabla de planificación son de carácter orientativo, considerando la heterogeneidad de los alumnos |
Metodologías
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descripción |
Actividades introductorias |
Actividades encaminadas a tomar contacto y a recoger información de los estudiantes. Presentación de la asignatura.
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Sesión magistral |
Exposición de los contenidos de la assignatura.
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Trabajos |
Trabajos que realiza el estudiante.
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Presentaciones/exposiciones |
Exposición oral por parte de los estudiantes de un tema concreto o de un trabajo (previa presentación escrita).
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Atención personalizada |
Tiempo que cada profesor tiene reservado para atender y resolver dudas a los estudiantes. |
descripción |
Dr. Albert Romano:
Prof. Albert Romano-Rodriguez
Professor Titular d'Universitat
MIND-IN2UB - Departament d'Electronica
Universitat de Barcelona
c/ Marti i Franques, 1
E-08028 Barcelona
Spain
tel: +34 93 403 91 56
FAX: +34 93 402 11 48
e-mail: aromano@el.ub.es
Dr. Francesc Pérez-Murano:
Prof. Francesc Perez-Murano
NEMS and Nanofabrication
IMB-CNM. CSIC
CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain
Phone: +34 93 594 77 00 (ext. 2113)
e-mail: francesc.perez@imb-cnm.csic.es
Dr. Manuel Varela:
M. Varela
Applied Physics and Optics Dept.
University of Barcelona
c/ Martí i Franquès, 1
08028 Barcelona
mvarela@ub.edu
Xavier Borrisé
(CNM-CSIC and ICN)
Nanolithography Laboratory
CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain
Phone: +34 93 5947700 ext 1104
e-mail: xavier.borrise@imb-cnm.csic.es
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Metodologías |
Competencias
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descripción |
Peso |
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Trabajos |
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Trabajos en grupo sobre un tema muy específico que los estudiantes deben trabajar y presentar. |
10-20% |
Presentaciones/exposiciones |
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Los estudiantes se dividirán en grupos y cada grupo llevará a cabo una exposición oral sobre el trabajo que han desarrollado durante el curso. |
30-40% |
Pruebas de desarrollo |
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Exámenes en que los alumnos han de mostrar individualmente sus conocimientos. |
40-60% |
Otros |
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Otros comentarios y segunda convocatoria |
Durante las pruebas evaluativas, los teléfonos móviles, tablets y otros aparatos electónico que no sean expresamente autorizados por la prueba, deben estar apagados y fuera de la vista |
Básica |
M.J. Madou , Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. , CRC Press , 2002
B. Bushan et al. , Springer Handbook of Nanotechnology , Springer, 2006
J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications. , William Andrew Publishing/Noyes , 2001
H.S. Nalwa (editor) , Encyclopedia of nanoscience and nanotechnology , American Scientific Publishers , 2004
Z. Cui , Micro-Nanofabrication: Technology and Applications , Springer Verlag , 2006
M. Ohring , Materials Science of Thin Films , Academic Press , 2002
J.A. Venables , Introduction to Surface and Thin Film Processes , Cambridge University Press , 2001
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Complementaria |
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Journals in the field of Nanotechnology Applied Physics and Chemical Synthesis Proceedings of conferences in the field of the
subject |
Asignaturas que se recomienda cursar simultáneamente |
PROCESOS EN SALA BLANCA/20705207 |
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(*)La Guía docente es el documento donde se visualiza la propuesta académica de la URV. Este documento es público y no es modificable, excepto en casos excepcionales revisados por el órgano competente o debidamente revisado de acuerdo la normativa vigente. |
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