| Competències |
| Type A | Code | Competences Specific |
| A1.1 | Destacar en l'estudi i coneixement de l'àmbit de recerca triat: avaluar la importància cientificotècnica, el potencial tecnològic i la viabilitat de la nanociencia, dels materials, del seu disseny, la seva preparació, propietats, processos i desenvolupaments, tècniques i aplicacions. | |
| Type B | Code | Competences Transversal |
| B1.1 | Comunicar i discutir propostes i conclusions en fòrums multilingües, especialitzats i no especialitzats, d'una manera clara i sense ambigüitats. | |
| B3.1 | Treballar en equip de forma col•laborativa, amb responsabilitat compartida en equips multidisciplinaris, multilingües i multiculturals. | |
| B4.2 | Aprendre de forma autònoma i amb iniciativa. | |
| Type C | Code | Competences Nuclear |
| C1.1 | Dominar en un nivell intermedi una llengua estrangera, preferentment l’anglès. | |
| C1.2 | Utilitzar de manera avançada les tecnologies de la informació i la comunicació. | |
| C1.3 | Gestionar la informació i el coneixement. |
| Resultats d'aprenentage |
| Type A | Code | Learning outcomes |
| A1.1 |
Formula el coneixement dels principis bàsics emprats en el camp de la nanofabricació i nanoprocesado, dels materials i de les tècniques principals que s'utilitzen en aquesta àrea. Selecciona els mètodes de nanofabricació més adequats per resoldre problemes específics de la nanotecnologia. | |
| Type B | Code | Learning outcomes |
| B1.1 |
Intervé de forma efectiva i transmet informació rellevant. Planifica la comunicació: genera idees, busca informacions, selecciona i ordena la informació, fa esquemes, determina el tipus de públic i els objectius de la comunicació, ... Prepara i realitza presentacions estructurades complint amb els requisits exigits. Redacta documents amb el format, contingut, estructura, correcció lingüística, registre adequats i il•lustra conceptes utilitzant correctament les convencions: formats, títols, peus, llegendes, ... Utilitza un llenguatge apropiat a la situació. Utilitza estratègies per presentar i dur a terme les seves presentacions orals (ajuts audiovisuals, mirada, veu, gest, control de temps, ...). | |
| B3.1 |
Accepta i compleix les normes del grup. Col • labora activament en la planificació del treball en equip, en la distribució de les tasques i terminis requerits. Facilita la gestió positiva de les diferències, desacords i conflictes que es produeixen a l'equip. Porta a terme la seva aportació individual en el temps previst i amb els recursos disponibles. Participa de forma activa i comparteix informació, coneixement i experiències. Té en compte els punts de vista dels altres i retroalimenta de forma constructiva. | |
| B4.2 |
Formula preguntes adequades per a resoldre els dubtes o qüestions obertes, i té criteri en la recerca de la informació. Selecciona un procediment d 'entre els que li proposa el professor. | |
| Type C | Code | Learning outcomes |
| C1.1 |
Expressa opinions sobre temes abstractes o culturals de forma limitada Explica i justifica breument les seves opinions i projectes Comprèn instruccions sobre classes o tasques assignades pels professors Comprèn informació i articles de caràcter rutinari Extreu el sentit general dels textos que contenen informació no rutinària dins d'un àmbit conegut Escriu cartes o prendre notes sobre assumptes previsibles i coneguts | |
| C1.2 |
Coneix el maquinari bàsic dels ordinadors Coneix el sistema operatiu com a gestor del maquinari i el programari com eina de treball Utilitza programari per a comunicació off-line: editors de textos, fulles de càlcul i presentacions digitals Utilitza programari per a comunicació on-line: eines interactives (web, moodle, blocs..), correu electrònic, fòrums, xat, vídeo-conferències, eines de treball col·laboratiu... | |
| C1.3 |
Localitza i accedeix a la informació de manera eficaç i eficient Avalua críticament la informació i les seves fonts i la incorpora a la pròpia base de coneixements i al seu sistema de valors Utilitza la informació comprenent les implicacions econòmiques, legals, socials i ètiques de l’ accés a la informació i el seu ús Reflexiona, revisa i avalua el procés de gestió de la informació |
| Continguts |
| Topic | Sub-topic |
| Introducció. | Introducció i conceptes preliminars. |
| Capítol 1. Litografia ultraviolada i visible. | Concepte de litografia òptica. Litografia òptica convencional. Resines. Instrumentació. La microelectrònica com la força impulsora de la miniaturització. Límits de la litografia òptica. Litografia òptica avançada. |
| Capítol 2. Litografia de feix d'electrons. | Introducció a la litografia de feix d'electrons. Òptica amb electrons: Sistemes de litografia de feix d'electrons (Electron beam lithography, EBL). Les interaccions electrons-materials sòlids. Exposició: Resines. Efectes de proximitat. Tecnologia del procés. Aplicacions. |
| Capítol 3. Tecnologia de feix d'ions focalitzat. | Interacció ió-sòlid. Polvorització i Redepòsit. Acanalament. Electrons secundaris. Feixos de ions focalitzats (FIB). Atac iònic i atac iònic assistit per gas. Dipòsit per gas assistit per ions. Sistemes FIB d'un sol feix i de doble feix. Litografia per feix d'ions. Nanomanipulació. Aplicacions. |
| Capítol 4. Tècniques litogràfiques no convencionals I: tècniques de AFM. | Litografies basades en microscopies de camp proper: Introducció a la microscòpia de sonda de rastreig. Resum dels mètodes litogràfics de sonda de rastreig. Manipulació atòmica (STM). La manipulació dels objectes i les molècules. Indentació / repositori local. Nanolitografia d'oxidació local. Dispensat local de líquids i molècules (incloent Dip Pen nanolithography). Nanofabricació en paral•lel. |
| Capítol 5. Tècniques litogràfiques no convencionals II: impressió, estampat i tècniques d'AFM. | Litografies d'estampat. Termoplàstics: temperatura de transició vítria. Estampat en calent i nanoimpressió. Curat de termoplàstics mitjançant llum ultraviolada. Replicat. Litografies suaus |
| Capítol 6. Tècniques de dipòsit i creixement. |
Procés de creixement. Evaporació. Epitàxia de feixos moleculars. Polvorització catòdica. Dipòsit assistit per ions. Ablació amb làser. Dipòsit de fase química Dipòsit assistit mitjançant plasma. Mètode de dipòsit de Langmuir-Blodgett. |
| Capítol 7. Processament de capes. | Gravat mitjançant química seca i humida. Processos de lift-off. Gravat reactiu i assistit mitjançant plasma. Gravat iònic. |
| Capítol 8. Processos de fabricació global. | Fabricació d'estructures complexes utilitzant les tècniques descrites en els temes anteriors. Proposta d'alternatives i complementarietat de tècniques. |
| Planificació |
| Methodologies :: Tests | ||||||||||
| Competences | (*) Class hours |
Hours outside the classroom |
(**) Total hours | |||||||
| Activitats Introductòries |
|
1 | 0 | 1 | ||||||
| Sessió Magistral |
|
25 | 50 | 75 | ||||||
| Treballs |
|
6 | 12 | 18 | ||||||
| Presentacions / exposicions |
|
4 | 4 | 8 | ||||||
| Atenció personalitzada |
|
3 | 4.5 | 7.5 | ||||||
| Proves de desenvolupament |
|
1 | 2 | 3 | ||||||
| (*) On e-learning, hours of virtual attendance of the teacher. (**) The information in the planning table is for guidance only and does not take into account the heterogeneity of the students. | ||||||||||
| Metodologies |
| Description | |
| Activitats Introductòries | Una sessió introductòria per tal de proporcionar una visió general de l'assignatura i el seu paper en el marc de la nanociència i la nanotecnologia. |
| Sessió Magistral | Sessions cobrint els principis bàsics, modes d’operació, aplicacions i limitacions fonamentals de les tècniques de nanofabricació i nanoprocessat |
| Treballs | Exercicis individuals i petites presentacions a classe sobre un tema molt específic que els estudiants han de treballar i presentar individualment. |
| Presentacions / exposicions | Els estudiants es dividiran en grups i cada grup durà a terme una exposició oral sobre el treball que han desenvolupat durant el curs. |
| Atenció personalitzada | Reunions amb els estudiants, ja sigui de forma individual o grupal, per tal de millorar el seu rendiment. |
| Atenció personalitzada |
| Description |
| Dr. Albert Romano: Prof. Albert Romano-Rodriguez Professor Titular d'Universitat MIND-IN2UB - Departament d'Electronica Universitat de Barcelona c/ Marti i Franques, 1 E-08028 Barcelona Spain tel: +34 93 403 91 56 FAX: +34 93 402 11 48 e-mail: aromano@el.ub.es Dr. Francesc Pérez-Murano: Prof. Francesc Perez-Murano NEMS and Nanofabrication IMB-CNM. CSIC CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain Phone: +34 93 594 77 00 (ext. 2113) e-mail: francesc.perez@imb-cnm.csic.es Dr. Manuel Varela: M. Varela Applied Physics and Optics Dept. University of Barcelona c/ Martí i Franquès, 1 08028 Barcelona mvarela@ub.edu Xavier Borrisé (CNM-CSIC and ICN) Nanolithography Laboratory CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain Phone: +34 93 5947700 ext 1104 e-mail: xavier.borrise@imb-cnm.csic.es |
| Avaluació |
| Methodologies | Competences | Description | Weight | ||||
| Treballs |
|
Treballs en grup sobre un tema molt específic que els estudiants han de treballar i presentar. | 10-20% | ||||
| Presentacions / exposicions |
|
Els estudiants es dividiran en grups i cada grup durà a terme una exposició oral sobre el treball que han desenvolupat durant el curs. | 30-40% | ||||
| Proves de desenvolupament |
|
proves on han de desenvolupar una o més temàtiques | 40-60% | ||||
| Others |
| Other comments and second exam session | |||
|
Durant les proves avaluatives, els telèfons mòbils, tablets i altres aparells alectrònics que no siguin expressament autoritzats per la prova, han d'estar apagats i fora de la vista |
|||
| Fonts d'informació |
| Bàsica |
M.J. Madou , Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. , CRC Press , 2002
B. Bushan et al. , Springer Handbook of Nanotechnology , Springer, 2006
J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications. , William Andrew Publishing/Noyes , 2001
H.S. Nalwa (editor) , Encyclopedia of nanoscience and nanotechnology , American Scientific Publishers , 2004
Z. Cui , Micro-Nanofabrication: Technology and Applications , Springer Verlag , 2006
M. Ohring , Materials Science of Thin Films , Academic Press , 2002
J.A. Venables , Introduction to Surface and Thin Film Processes , Cambridge University Press , 2001 |
||||||||
| Complementària | |||||||||
Journals in the field of Nanotechnology Applied Physics and Chemical Synthesis Proceedings of conferences in the field of the subject |
|||||||||
| Recomanacions |
| Subjects that are recommended to be taken simultaneously | ||
|
||
(*)The teaching guide is the document in which the URV publishes the information about all its courses. It is a public document and cannot be modified. Only in exceptional cases can it be revised by the competent agent or duly revised so that it is in line with current legislation.