DADES IDENTIFICATIVES 2012_13
Assignatura (*) PROCESSOS EN SALA BLANCA Codi 20635206
Ensenyament
Nanociència i Nanotecnologia (2010)
Cicle 2n
Descriptors Crèd. Tipus Curs Període
2.5 Optativa Únic anual
Llengua d'impartició
Anglès
Departament Química Analítica i Química Orgànica
Coordinador/a
ANDRADE ., FRANCISCO JAVIER
RIUS FERRÚS, FRANCISCO JAVIER
Adreça electrònica franciscojavier.andrade@urv.cat
Professors/es
ANDRADE ., FRANCISCO JAVIER
Web
Descripció general i informació rellevant To design and fabricate metallic nanostructures in a clean room. Subsequently, they will be electrically and microscopically characterised.

Competències
Tipus A Codi Competències Específiques
  Recerca
  AR9 Reconèixer com propietats físiques concretes poden derivar-se de l’estructura dels materials moleculars i de les interaccions intermoleculars que s’estableixen en la seva estructura.
  AR10 Comprendre i gestionar el concepte de Sala Blanca i els processos associats.
  AR11 Coneixement pràctic dels processos de fotolitografia, gravat, deposició, creixement a altes temperatures i nanolitografia.
  AR12 Inspecció i caracterització de processos.
Tipus B Codi Competències Transversals
  Recerca
  BR2 Treballar de manera autònoma amb iniciativa.
  BR4 Capacitat d’organització i planificació.
  BR7 Treball en equip
Tipus C Codi Competències Nuclears
  Comú
  CC6 Tenir adquirides les competències bàsiques en TIC.
  CC7 Habilitat per comunicar-se amb experts d'altres camps professionals.

Objectius d'aprenentatge
Objectius Competències
Reconèixer com propietats físiques concretes poden derivar-se de l'estructura dels materials moleculars i de les interaccions intermoleculars que s'estableixen en la seva estructura. AR9
BR2
BR4
BR7
CC6
CC7
Comprendre i gestionar el concepte de Sala Blanca i els processos associats. AR10
BR2
BR4
BR7
CC6
CC7
Adquirir coneixement pràctic dels processos de fotolitografia, gravat, deposició, creixement a altes temperatures i nanolitografia. AR11
BR2
BR4
BR7
CC6
CC7
Inspeccionar i caracteritzar processos. AR12
BR2
BR4
BR7
CC6
CC7

Continguts
Tema Subtema

Planificació
Metodologies  ::  Proves
  Competències (*) Hores a classe Hores fora de classe (**) Hores totals
Activitats Introductòries
1 0 1
 
Sessió Magistral
2 4 6
Treballs
9 36 45
 
Atenció personalitzada
8 0 8
 
Proves pràctiques
2 0 2
 
(*) En el cas de docència no presencial, són les hores de treball amb suport vitual del professor.
(**) Les dades que apareixen a la taula de planificació són de caràcter orientatiu, considerant l’heterogeneïtat de l’alumnat

Metodologies
Metodologies
  Descripció
Activitats Introductòries Tres sessions magistrals introductòries per poder treballar els conceptes fonamentals d’aquesta matèria.
Sessió Magistral Exposició dels continguts de l'assignatura per part del professor. Amb preguntes freqüents als alumnes per tal que tinguin una participació activa

Treballs Per tal de poder afavorir els aprenentatges, no només de les competències específiques sinó també de les generals i de les transversals, s’ha planificat una part important del treball en grup. Tant el món laboral com el de la recerca s’articulen al voltant de grups d’activitat en moltes ocasions interdisciplinars i transnacionals.
Atenció personalitzada

Atenció personalitzada
 
Atenció personalitzada
Descripció
Reunions amb els alumnes bé individualment o en petits grups per tal de resoldre dubtes, indicar punts de millora i orientar en el desenvolupament general de l'assignatura.

Avaluació
  Descripció Pes
Treballs Per tal de poder afavorir els aprenentatges, no només de les competències específiques sinó també de les generals i de les transversals, s’ha planificat la realització d’un treball en grup. Tant el món laboral com el de la recerca s’articulen al voltant de grups d’activitat en moltes ocasions interdisciplinars i transnacionals. Cada grup haurà de lliurar un document del treball realitzat i realitzarà una presentació oral del mateix. La temàtica del treball haurà de ser consensuada amb els professors de l’assignatura. 70
Proves pràctiques Aquesta assignatura és eminentment pràctica. Es farà una prova d'aquest tipus per demostrar els coneixements i habilitats adquirirdes 30
 
Altres comentaris i segona convocatòria

Fonts d'informació

Bàsica M.J. Madou, Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturizatio, last edition, CRC Press
B. Bushan et al, Springer Handbook of Nanotechnology, last edition, Springer,
J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications, last edition, William Andrew Publishing/Noyes
Z. Cui, Micro-Nanofabrication: Technology and Applications, last edition, Springer Verlag
M. Ohring, Materials Science of Thin Films, last edition, Academic Press
J.A. Venables, Introduction to Surface and Thin Film Processes, last edition, Cambridge University Press

 

Complementària

Recomanacions


 
Altres comentaris
És convenient haver cursat l'assignatura de Nanofabricació i Nanoprocessat.
(*)La Guia docent és el document on es visualitza la proposta acadèmica de la URV. Aquest document és públic i no es pot modificar, llevat de casos excepcionals revisats per l'òrgan competent/ o degudament revisats d'acord amb la normativa vigent