Tipus A
|
Codi |
Competències Específiques | | A1.1 |
Destacar en l'estudi i coneixement de l'àmbit de recerca triat: avaluar la importància cientificotècnica, el potencial tecnològic i la viabilitat de la nanociencia, dels materials, del seu disseny, la seva preparació, propietats, processos i desenvolupaments, tècniques i aplicacions. |
Tipus B
|
Codi |
Competències Transversals | | B1.1 |
Comunicar i discutir propostes i conclusions en fòrums multilingües, especialitzats i no especialitzats, d'una manera clara i sense ambigüitats. |
| B3.1 |
Treballar en equip de forma col•laborativa, amb responsabilitat compartida en equips multidisciplinaris, multilingües i multiculturals. |
| B4.2 |
Aprendre de forma autònoma i amb iniciativa. |
Tipus C
|
Codi |
Competències Nuclears | | C1.1 |
Dominar en un nivell intermedi una llengua estrangera, preferentment l’anglès. |
| C1.2 |
Utilitzar de manera avançada les tecnologies de la informació i la comunicació. |
| C1.3 |
Gestionar la informació i el coneixement. |
Tipus A
|
Codi |
Resultats d'aprenentatge |
| A1.1 |
Formula el coneixement dels principis bàsics emprats en el camp de la nanofabricació i nanoprocesado, dels materials i de les tècniques principals que s'utilitzen en aquesta àrea.
Selecciona els mètodes de nanofabricació més adequats per resoldre problemes específics de la nanotecnologia.
|
Tipus B
|
Codi |
Resultats d'aprenentatge |
| B1.1 |
Intervé de forma efectiva i transmet informació rellevant.
Planifica la comunicació: genera idees, busca informacions, selecciona i ordena la informació, fa esquemes, determina el tipus de públic i els objectius de la comunicació, ...
Prepara i realitza presentacions estructurades complint amb els requisits exigits.
Redacta documents amb el format, contingut, estructura, correcció lingüística, registre adequats i il•lustra conceptes utilitzant correctament les convencions: formats, títols, peus, llegendes, ...
Utilitza un llenguatge apropiat a la situació.
Utilitza estratègies per presentar i dur a terme les seves presentacions orals (ajuts audiovisuals, mirada, veu, gest, control de temps, ...).
| | B3.1 |
Accepta i compleix les normes del grup.
Col • labora activament en la planificació del treball en equip, en la distribució de les tasques i terminis requerits.
Facilita la gestió positiva de les diferències, desacords i conflictes que es produeixen a l'equip.
Porta a terme la seva aportació individual en el temps previst i amb els recursos disponibles.
Participa de forma activa i comparteix informació, coneixement i experiències.
Té en compte els punts de vista dels altres i retroalimenta de forma constructiva.
| | B4.2 |
Formula preguntes adequades per a resoldre els dubtes o qüestions obertes, i té criteri en la recerca de la informació.
Selecciona un procediment d 'entre els que li proposa el professor.
|
Tipus C
|
Codi |
Resultats d'aprenentatge |
| C1.1 |
Expressa opinions sobre temes abstractes o culturals de forma limitada
Explica i justifica breument les seves opinions i projectes
Comprèn instruccions sobre classes o tasques assignades pels professors
Comprèn informació i articles de caràcter rutinari
Extreu el sentit general dels textos que contenen informació no rutinària dins d'un àmbit conegut
Escriu cartes o prendre notes sobre assumptes previsibles i coneguts
| | C1.2 |
Coneix el maquinari bàsic dels ordinadors
Coneix el sistema operatiu com a gestor del maquinari i el programari com eina de treball
Utilitza programari per a comunicació off-line: editors de textos, fulles de càlcul i presentacions digitals
Utilitza programari per a comunicació on-line: eines interactives (web, moodle, blocs..), correu electrònic, fòrums, xat, vídeo-conferències, eines de treball col·laboratiu...
| | C1.3 |
Localitza i accedeix a la informació de manera eficaç i eficient
Avalua críticament la informació i les seves fonts i la incorpora a la pròpia base de coneixements i al seu sistema de valors
Utilitza la informació comprenent les implicacions econòmiques, legals, socials i ètiques de l’ accés a la informació i el seu ús
Reflexiona, revisa i avalua el procés de gestió de la informació
|
Tema |
Subtema |
Introducció. |
Introducció i conceptes preliminars.
|
Capítol 1. Litografia ultraviolada i visible. |
Concepte de litografia òptica. Litografia òptica convencional. Resines. Instrumentació. La microelectrònica com la força impulsora de la miniaturització. Límits de la litografia òptica. Litografia òptica avançada.
|
Capítol 2. Litografia de feix d'electrons. |
Introducció a la litografia de feix d'electrons. Òptica amb electrons: Sistemes de litografia de feix d'electrons (Electron beam lithography, EBL). Les interaccions electrons-materials sòlids. Exposició: Resines. Efectes de proximitat. Tecnologia del procés. Aplicacions.
|
Capítol 3. Tecnologia de feix d'ions focalitzat. |
Interacció ió-sòlid. Polvorització i Redepòsit. Acanalament. Electrons secundaris. Feixos de ions focalitzats (FIB). Atac iònic i atac iònic assistit per gas. Dipòsit per gas assistit per ions. Sistemes FIB d'un sol feix i de doble feix. Litografia per feix d'ions. Nanomanipulació. Aplicacions.
|
Capítol 4. Tècniques litogràfiques no convencionals I: tècniques de AFM. |
Litografies basades en microscopies de camp proper: Introducció a la microscòpia de sonda de rastreig. Resum dels mètodes litogràfics de sonda de rastreig. Manipulació atòmica (STM). La manipulació dels objectes i les molècules. Indentació / repositori local. Nanolitografia d'oxidació local. Dispensat local de líquids i molècules (incloent Dip Pen nanolithography). Nanofabricació en paral•lel.
|
Capítol 5. Tècniques litogràfiques no convencionals II: impressió, estampat i tècniques d'AFM. |
Litografies d'estampat. Termoplàstics: temperatura de transició vítria. Estampat en calent i nanoimpressió. Curat de termoplàstics mitjançant llum ultraviolada. Replicat. Litografies suaus
|
Capítol 6. Tècniques de dipòsit i creixement.
|
Procés de creixement. Evaporació. Epitàxia de feixos moleculars. Polvorització catòdica. Dipòsit assistit per ions. Ablació amb làser. Dipòsit de fase química Dipòsit assistit mitjançant plasma. Mètode de dipòsit de Langmuir-Blodgett.
|
Capítol 7. Processament de capes. |
Gravat mitjançant química seca i humida. Processos de lift-off. Gravat reactiu i assistit mitjançant plasma. Gravat iònic.
|
Capítol 8. Processos de fabricació global. |
Fabricació d'estructures complexes utilitzant les tècniques descrites en els temes anteriors. Proposta d'alternatives i complementarietat de tècniques. |
Metodologies :: Proves |
|
Competències |
(*) Hores a classe
|
Hores fora de classe
|
(**) Hores totals |
Activitats Introductòries |
|
1 |
0 |
1 |
Sessió Magistral |
|
25 |
50 |
75 |
Treballs |
|
6 |
12 |
18 |
Presentacions / exposicions |
|
4 |
4 |
8 |
Atenció personalitzada |
|
3 |
4.5 |
7.5 |
|
Proves de desenvolupament |
|
1 |
2 |
3 |
|
(*) En el cas de docència no presencial, són les hores de treball amb suport vitual del professor. (**) Les dades que apareixen a la taula de planificació són de caràcter orientatiu, considerant l’heterogeneïtat de l’alumnat |
Metodologies
|
Descripció |
Activitats Introductòries |
Una sessió introductòria per tal de proporcionar una visió general de l'assignatura i el seu paper en el marc de la nanociència i la nanotecnologia. |
Sessió Magistral |
Sessions cobrint els principis bàsics, modes d’operació, aplicacions i limitacions fonamentals de les tècniques de nanofabricació i nanoprocessat |
Treballs |
Exercicis individuals i petites presentacions a classe sobre un tema molt específic que els estudiants han de treballar i presentar individualment. |
Presentacions / exposicions |
Els estudiants es dividiran en grups i cada grup durà a terme una exposició oral sobre el treball que han desenvolupat durant el curs. |
Atenció personalitzada |
Reunions amb els estudiants, ja sigui de forma individual o grupal, per tal de millorar el seu rendiment. |
Descripció |
Dr. Albert Romano:
Prof. Albert Romano-Rodriguez
Professor Titular d'Universitat
MIND-IN2UB - Departament d'Electronica
Universitat de Barcelona
c/ Marti i Franques, 1
E-08028 Barcelona
Spain
tel: +34 93 403 91 56
FAX: +34 93 402 11 48
e-mail: aromano@el.ub.es
Dr. Francesc Pérez-Murano:
Prof. Francesc Perez-Murano
NEMS and Nanofabrication
IMB-CNM. CSIC
CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain
Phone: +34 93 594 77 00 (ext. 2113)
e-mail: francesc.perez@imb-cnm.csic.es
Dr. Manuel Varela:
M. Varela
Applied Physics and Optics Dept.
University of Barcelona
c/ Martí i Franquès, 1
08028 Barcelona
mvarela@ub.edu
Xavier Borrisé
(CNM-CSIC and ICN)
Nanolithography Laboratory
CAMPUS UAB. 08193 Bellaterra.Spain
Phone: +34 93 5947700 ext 1104
e-mail: xavier.borrise@imb-cnm.csic.es
|
Metodologies |
Competències
|
Descripció |
Pes |
|
|
|
|
Treballs |
|
Treballs en grup sobre un tema molt específic que els estudiants han de treballar i presentar. |
10-20% |
Presentacions / exposicions |
|
Els estudiants es dividiran en grups i cada grup durà a terme una exposició oral sobre el treball que han desenvolupat durant el curs. |
30-40% |
Proves de desenvolupament |
|
proves on han de desenvolupar una o més temàtiques |
40-60% |
Altres |
|
|
|
|
Altres comentaris i segona convocatòria |
Durant les proves avaluatives, els telèfons mòbils, tablets i altres aparells alectrònics que no siguin expressament autoritzats per la prova, han d'estar apagats i fora de la vista |
Bàsica |
M.J. Madou , Fundamentals of microfabrication: the science of miniaturization. , CRC Press , 2002
B. Bushan et al. , Springer Handbook of Nanotechnology , Springer, 2006
J.N. Helbert, Handbook of VLSI Microlithography - Principles, Tools, Technology and Applications. , William Andrew Publishing/Noyes , 2001
H.S. Nalwa (editor) , Encyclopedia of nanoscience and nanotechnology , American Scientific Publishers , 2004
Z. Cui , Micro-Nanofabrication: Technology and Applications , Springer Verlag , 2006
M. Ohring , Materials Science of Thin Films , Academic Press , 2002
J.A. Venables , Introduction to Surface and Thin Film Processes , Cambridge University Press , 2001
|
|
Complementària |
|
Journals in the field of Nanotechnology Applied Physics and Chemical Synthesis Proceedings of conferences in the field of the
subject |
Assignatures que es recomana cursar simultàniament |
PROCESSOS EN SALA BLANCA/20705207 |
|
(*)La Guia docent és el document on es visualitza la proposta acadèmica de la URV. Aquest document és públic i no es pot modificar, llevat de casos excepcionals revisats per l'òrgan competent/ o degudament revisats d'acord amb la normativa vigent |
|