Tema Subtema
Presentació
Introducció Definició de microsistema. Importancia de la tecnologies previes. definició, estructura i clasificació de les sales blanques
Materials per a microsistemes Materials com a soport mecànic
Materials per aplicacions de sensors
Materials per a aplicacions d'actuadors
Materials auxiliars en el desenvolupament del microsistema
Tecnologia microelectrònica Obtenció de monocristalls (oblies)
Processos d'oxidació
Processos de dopat
Processos de dipòsit: Procesos físics (PVD) i procesos químics (CVD)
Procés fotolitogràfic
Els procés de gravat: Gravat sec i gravat humit
Tecnologia híbrida El procés d'estampat
Tipus de tintes
El procés d'assecat
El procés de Firing
Processos de micromecanitzat Micromecanitzat de superfície
Micromecanitzat de "bulk"
Procés LIGA Definició i aplicacions del procés
Obtenció de les màscares
Pasos tecnològics
Processo alternatius de microestructuració
Encapsulat i interconnexió "Wirebonding"
Tab-Bonding
Flip-Chip
Wafer Bonding